材料表面形貌分析
熱場發射掃描電鏡、冷場發射掃描電鏡、高分辨率透射電鏡、場發射透射電鏡、掃描隧道電子顯微鏡等，可對材料的表面形貌及表面組成進行全方位的分析測試。
序號 | 類別 | 項目/參數 |
1 | 高分辨透射電鏡 | 形貌分析：獲得非晶材料的質厚襯度像，多晶材料的衍射襯度像和單晶薄膜的相位襯度像 (原子像)。 |
多相金屬負載催化劑的晶型識別及粒子大小及其分布的表征。 | ||
成分分析：小到幾個納米尺度的微區或晶粒的成分分析。 | ||
反映樣品組織形態的形貌及樣品晶格條紋圖象，可獲得無機材料、有機材料，以及無機有機復合材料，尤其是粉體材料、納米材料、納米復合材料的原始形貌, 進行尺度表征及分布表征。 | ||
結構分析：觀察研究材料結構并對樣品進行納米尺度的微分析，如：高分辨電子顯微觀察，系列欠焦像分析及出射波函數重構、電子衍射，會聚 束電子衍射，納米束衍射、Z-襯度（原子序數）成像等。 | ||
2 | 高分辨掃描電鏡 | 材料的微觀形貌、組織、成 分分析，材料斷口分析和失效分析。 |
元素定量、定性成分分析；晶體、晶粒的相鑒定。 | ||
各種材料的形貌組織觀察。 | ||
材料實時微區成分分析；快速的多元素面掃描和線掃描分布測量。 | ||
晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒 取向測量； | ||
3 | 原子力顯微鏡 | 原子力顯微鏡具有材料形態、斷面形狀、平均剃度、粒度、表面的粗糙度等圖像處理和分析功能。 |